今年是浦东开发开放30周年。三十年改革潮涌,三十年沧桑巨变,今天的浦东在制度创新、金融、航运、贸易等领域,不断创造出上海第一、全国第一乃至世界第一。
为纪念浦东开发开放30周年,中央广播电视总台财经节目中心和上海总站联合推出的六集4K纪录片《而立浦东》,于11月13-18日20点档在纪实人文频道播出。其中第四集讲述了中国光刻机的研发历史。
每颗芯片诞生之初,都要经过光刻机的雕刻,精度要达到头发丝的千分之一。18年前,全球光刻机市场只有荷兰、美国、日本拥有“入场券”,并对中国实施技术封锁。
上海微电子装备(集团)股份有限公司副董事长贺荣明抱着求学的心态出国考察,外方工程师的一番话,却深深刺痛了他的心,“他说,光刻机不是你有了一种设计,有了一份图纸,就可以把它装起来的东西。我哪怕把所有的图纸都给你们中国人,其实你们未必能够做出光刻机。”
但贺荣明没有退缩,带领团队,从维修零部件开始研发。对于光刻机来说,曝光是最关键的环节。2007年,研发团队迎来了第一次正式曝光。2007年2月8日这一天,五年的坚守与付出,终于初见曙光。
如今,全世界能够生产光刻机的国家,只有4个。中国,依托张江的创新,成为了其中的一员,实现了从无到有的突破。
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